img

详情

LG化学开始半导体后工程光刻胶的研发

2022-05-14

       近日,LG化学以供应给全球半导体企业为目标,着手开发半导体后工艺中使用的光刻胶(PR)。在半导体全过程刻上超细微电路图案,然后开发可强化芯片性能的后工程用光刻胶。


       根据韩媒ETNews报道,据了解,LG化学近期与全球半导体企业合作,投入后工程光刻胶开发。材料业界相关人士表示:“LG化学在尖端材料事业本部投入了半导体后工程用光刻胶技术的开发”,并称“基于半导体后工艺薄膜材料技术经验,加快了光刻胶的开发速度”。


       LG化学开发的PR是半导体后工程用感光液。用于在半导体前工程绘制细微电路后,加强半导体芯片性能。在后工程中,用光刻胶材料进一步刻出图案。


       在韩国,成功实现半导体全工程的核心材料极紫外线(EUV)光刻胶的韩国国产化,为对应后工程需求扩大,正在进行光刻胶的开发。在日本主导的光刻胶市场,韩国企业积极进入。


       LG化学计划以自身技术为基础,开发后工艺光刻胶,供应给半导体企业。考虑还处于开发的初期阶段,预计还需要一段时间。以现有的材料开发业绩为基础,预计将能加快开发和供应。


       自2019年日本对韩半导体出口管制事件以来,LG化学一直在加强半导体材料的开发。在半导体后工艺中,创建了连接芯片与电路基板的粘合膜(DAF),成功应用于韩国半导体厂商的量产线。另外,将印刷电路板(PCB)主要材料(CCL)实现向韩国零部件厂商的供应。LG化学将DAF薄膜供应给三星电子、SK海力士。据悉,CCL最终供应给三星电机、LG Innotek。


图片 7.png



       这是LG化学首次通过开发光刻胶来生产液态材料。LG化学相关人士表示:“我们一直在研发半导体后工程高功能性材料,我们决定基于技术Know how进行产品开发。”


       LG化学在尖端材料事业部负责半导体材料的开发。据悉,半导体材料开发人员就有100人以上。为了加强半导体后工程材料的开发,公司还新聘用了光刻胶开发专业人才。随着LG化学进入半导体后工艺材料市场,预计材料市场规模也将扩大。据悉,三星电子和SK海力士正在与材料企业合作开发后工程光刻胶,全球半导体企业不仅强化后工艺封装技术,而且也在加强材料开发。



(来源:CINNO,转载请注明出处)